传感技术学报2020，Vol.33Issue(7)：956-960,5.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2020.07.006
多晶硅纳米薄膜压阻和电学修正特性
Piezoresistive and Electrical Trimming Characteristics of Polysilicon Nanofilm
摘要
关键词
多晶硅纳米薄膜/压阻特性/电学修正/传感器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陆学斌,于斌..多晶硅纳米薄膜压阻和电学修正特性[J].传感技术学报,2020,33(7):956-960,5.基金项目
黑龙江省自然科学基金项目(F2018018,F2018020) （F2018018,F2018020）
