光学精密工程2020，Vol.28Issue(9)：1905-1912,8.DOI:10.37188/OPE.20202809.1905
涡旋光位移干涉测量方法与信号处理
Signal processing method for displacement measurement interferometry using vortex beams
摘要
关键词
光电检测/涡旋光干涉/纳米测量/图像处理分类
机械制造引用本文复制引用
夏豪杰,谷容睿,潘成亮,赵会宁..涡旋光位移干涉测量方法与信号处理[J].光学精密工程,2020,28(9):1905-1912,8.基金项目
国家自然科学基金面上项目(No.51975179) （No.51975179）
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(No.51427805) （No.51427805）
