现代科学仪器Issue(5)：34-38,45,6.
磁控溅射法制备ZnO及ZnO/ZnMgO异质结薄膜及其光学性能研究
Optical Properties of ZnO and ZnO/ZnMgO Heterojunction Films Prepared by Magnetron Sputtering
摘要
关键词
磁控溅射/ZnO薄膜/ZnMgO/ZnO异质结薄膜/表面形貌/光学性能分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张变莲,成桢,孟瑜..磁控溅射法制备ZnO及ZnO/ZnMgO异质结薄膜及其光学性能研究[J].现代科学仪器,2020,(5):34-38,45,6.基金项目
国家自然科学基金(614013561603324) （614013561603324）
陕西省自然科学基金(2017JM6040) （2017JM6040）
西安市科技计划项目(2019KJWL23,2019KJWL24),西安文理学院科研团队:智能感知与控制(XAWLKYTD019),先进表面工程与装备延寿(XAWLKYTD013). （2019KJWL23,2019KJWL24）
