激光技术2020，Vol.44Issue(6)：695-699,5.DOI:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.06.008
不同延时的组合脉冲激光致硅表面损伤研究
Surface damage study of silicon induced by combined millisecond and nanosecond laser with different delays
摘要
关键词
激光技术/组合脉冲激光/硅/损伤形貌/延迟时间分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
吕雪明,李泽文,张检民,倪晓武..不同延时的组合脉冲激光致硅表面损伤研究[J].激光技术,2020,44(6):695-699,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61605079) （61605079）
激光与物质相互作用国家重点实验室研究基金资助项目(SKLLIM1604) （SKLLIM1604）
