河南科技大学学报（自然科学版）2021，Vol.42Issue(1)：95-99,5.DOI:10.15926/j.cnki.issn1672-6871.2021.01.015
溅射功率对氧化镓薄膜特性的影响
摘要
关键词
氧化镓/磁控溅射/功率/结构特性/光学特性分类
通用工业技术引用本文复制引用
付宏远,张猛,张宝萍,赵洋,王辉..溅射功率对氧化镓薄膜特性的影响[J].河南科技大学学报（自然科学版）,2021,42(1):95-99,5.基金项目
国家自然科学基金项目(61674052,11404097) （61674052,11404097）
河南省高等学校重点科研项目(20A140012) （20A140012）
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河南科技大学大学生研究训练计划(SRTP)项目(2019208) （SRTP）
河南科技大学物理与工程学院大学生研究训练计划(SRTP)项目(wlsrtp201910) （SRTP）
