人工晶体学报2020,Vol.49Issue(10):1787-1793,1799,8.
碳化硅邻晶面外延生长机制的动力学蒙特卡罗模拟
Epitaxial Growth Mechanism of SiC on the Vicinal Surface Simulated by Kinetic Monte Carlo
摘要
关键词
碳化硅/动力学蒙特卡罗法/外延生长/晶体生长/岛核密度分类
数理科学引用本文复制引用
石爱红,李源,艾文森..碳化硅邻晶面外延生长机制的动力学蒙特卡罗模拟[J].人工晶体学报,2020,49(10):1787-1793,1799,8.基金项目
青海省自然科学基金(2018-ZJ-946Q) (2018-ZJ-946Q)