人工晶体学报2020，Vol.49Issue(10)：1896-1903,1910,9.
微波等离子体化学气相沉积设备微波系统的仿真优化与验证
Simulation Optimization and Verification of a Microwave System for Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition Device
摘要
关键词
微波等离子体化学气相沉积/微波系统/谐振腔/金刚石膜/透光率/杂质含量分类
数理科学引用本文复制引用
王心洋,曹光宇,黄翀..微波等离子体化学气相沉积设备微波系统的仿真优化与验证[J].人工晶体学报,2020,49(10):1896-1903,1910,9.基金项目
长沙市科技计划项目(kq1706091) （kq1706091）
