电子器件2020,Vol.43Issue(5):968-972,5.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2020.05.004
基于压电驱动的全固态可变焦微透镜结构设计与仿真研究
Structural Design and Simulation Research of All-Solid-State Zoom Microlens Based on Piezoelectric Driving
摘要
关键词
可变焦透镜/聚二甲基硅氧烷/压电材料/COMSOL仿真分类
通用工业技术引用本文复制引用
孙旭宇,李廷鱼,张文磊,郭丽芳,李刚,王开鹰,吴玉程..基于压电驱动的全固态可变焦微透镜结构设计与仿真研究[J].电子器件,2020,43(5):968-972,5.基金项目
山西省应用基础研究计划项目(201901D111099) (201901D111099)