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硅-有机复合集成电光调制器的优化与制备

邹艳慧 谭庆贵 谷一英 赵明山 韩秀友 王艺蒙 张小雪 武震林 陈卓 薄淑晖 刘若男 李志华 王迪

光学精密工程2020,Vol.28Issue(10):2138-2150,13.
光学精密工程2020,Vol.28Issue(10):2138-2150,13.DOI:10.37188/OPE.20202810.2138

硅-有机复合集成电光调制器的优化与制备

Optimal design and preparation of silicon-organic hybrid integrated electro-optic modulator

邹艳慧 1谭庆贵 2谷一英 1赵明山 1韩秀友 1王艺蒙 1张小雪 1武震林 1陈卓 3薄淑晖 3刘若男 4李志华 5王迪5

作者信息

  • 1. 大连理工大学光电工程与仪器科学学院,辽宁大连116024
  • 2. 西安空间无线电技术研究所,陕西西安710100
  • 3. 中国科学院理化技术研究所,北京100190
  • 4. 中央民族大学理学院,北京100081
  • 5. 中国科学院微电子研究所,北京100029
  • 折叠

摘要

关键词

电光调制器/硅-有机复合集成/Slot波导/Strip-to-Slot模式转换器/半波电压-长度积

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

邹艳慧,谭庆贵,谷一英,赵明山,韩秀友,王艺蒙,张小雪,武震林,陈卓,薄淑晖,刘若男,李志华,王迪..硅-有机复合集成电光调制器的优化与制备[J].光学精密工程,2020,28(10):2138-2150,13.

基金项目

国家重点研发计划项目(No.2019YFB2203202) (No.2019YFB2203202)

国家领域基金重点项目(No.61404130403) (No.61404130403)

国家自然科学基金资助项目(No.61875028,No.62075026) (No.61875028,No.62075026)

辽宁省高等学校创新人才支持计划(No.LR2019017) (No.LR2019017)

大连市科技创新基金资助项目(No.2018J11CY006) (No.2018J11CY006)

大连理工大学大学生创新训练项目(No.2020101412100010090,No.2019101412100010059) (No.2020101412100010090,No.2019101412100010059)

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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