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边缘湿法刻蚀GaInP/GaAs/Ge太阳电池研究

许军 铁剑锐 赵拓 韩志刚

电源技术2020,Vol.44Issue(11):1619-1621,3.
电源技术2020,Vol.44Issue(11):1619-1621,3.DOI:10.3969/j.issn.1002-087X.2020.11.015

边缘湿法刻蚀GaInP/GaAs/Ge太阳电池研究

Research on edge wet etching of GaInP/GaAs/Ge solar cells

许军 1铁剑锐 1赵拓 1韩志刚1

作者信息

  • 1. 中国电子科技集团公司第十八研究所,天津300384
  • 折叠

摘要

关键词

表面复合/湿法刻蚀/套刻/子电池

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

许军,铁剑锐,赵拓,韩志刚..边缘湿法刻蚀GaInP/GaAs/Ge太阳电池研究[J].电源技术,2020,44(11):1619-1621,3.

电源技术

OA北大核心CSTPCD

1002-087X

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