全介质硅基微腔结构的模拟与实验研究

王朝晔侯国智李伟徐骏陈坤基

南京大学学报（自然科学版）2020，Vol.56Issue(5)：737-743,7.

南京大学学报（自然科学版）2020，Vol.56Issue(5)：737-743,7.DOI:10.13232/j.cnki.jnju.2020.05.013

Simulation and experimental study of all-dielectric silicon-based microcavity structure

王朝晔 ¹侯国智 ¹李伟 ¹徐骏 ¹陈坤基¹

作者信息

SiNx/SiNyOz多层膜/F-P腔滤波器/光学微腔/时域有限差分法

信息技术与安全科学

王朝晔,侯国智,李伟,徐骏,陈坤基..全介质硅基微腔结构的模拟与实验研究[J].南京大学学报（自然科学版）,2020,56(5):737-743,7.

国家自然科学基金(61735008) （61735008）

OACSCDCSTPCD

ISSN：0469-5097

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