物理学报2020，Vol.69Issue(22)：242-257,16.DOI:10.7498/aps.69.20200653
溶胶-凝胶法制备氧化锡基薄膜及薄膜晶体管的研究进展
Research progress of tin oxide-based thin films and thin-film transistors prepared by sol-gel method
摘要
关键词
氧化锡/溶胶-凝胶法/透明导电氧化物薄膜/透明氧化物半导体薄膜/薄膜晶体管/p型半导体薄膜引用本文复制引用
刘贤哲,彭俊彪,张旭,陶洪,黄健朗,黄江夏,陈艺涛,袁炜健,姚日晖,宁洪龙..溶胶-凝胶法制备氧化锡基薄膜及薄膜晶体管的研究进展[J].物理学报,2020,69(22):242-257,16.基金项目
广东省基础与应用基础研究重大项目(批准号:2019B030302007)、 国家自然科学基金(批准号:51771074,61574061)、 国家自然科学基金重大集成项目(批准号:U1601651)、 广州市科技计划项目(批准号:201904010344)、 中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:2019MS012)、2019年广东大学生科技创新培育"攀登计划"专项资金(批准号:pdjh2019a0028,pdjh2019b0041)、国家级大学生创新创业训练计划(批准号:201910561005,201910561007)和华南理工大学百步梯攀登计划研究项目(批准号:j2tw201902475,j2tw201902203)资助的课题. （批准号:2019B030302007）
