液晶与显示2020，Vol.35Issue(12)：1211-1221,11.DOI:10.37188/YJYXS20203512.1211
金属氧化物薄膜晶体管的激光退火
Laser annealing of metal oxide thin film transistor
摘要
关键词
激光退火技术/金属氧化物/薄膜晶体管/氧空位分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
宁洪龙,彭俊彪,邓宇熹,黄健朗,罗子龙,胡润东,刘贤哲,王一平,邱天,姚日晖..金属氧化物薄膜晶体管的激光退火[J].液晶与显示,2020,35(12):1211-1221,11.基金项目
国家重点研发计划(No.2016YFB0401504) （No.2016YFB0401504）
国家自然科学基金(No.51771074,No.61574061) （No.51771074,No.61574061）
国家自然科学基金重大集成项目(No.U1601651) （No.U1601651）
广东省基础与应用基础研究重大项目(No.2019B030302007) （No.2019B030302007）
广州市科技计划项目(No.201904010344) （No.201904010344）
中央高校基本科研业务费专项资金(No.2019MS012) （No.2019MS012）
季华实验室自主立项项目(No.X190221TF191) （No.X190221TF191）
2019年广东大学生科技创新培育专项资金("攀登计划"专项资金:No.pdjh2019a0028,No.pdjh2019b0041) （"攀登计划"专项资金:No.pdjh2019a0028,No.pdjh2019b0041）
国家级大学生创新创业训练计划(No.201910561005,No.201910561007) （No.201910561005,No.201910561007）
华南理工大学百步梯攀登计划研究项目(No.j2tw201902475,No.j2tw201902203) （No.j2tw201902475,No.j2tw201902203）
