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用于双探针原子力显微镜的定位平台的设计及实验验证

林之东 高思田 黄鹭 李琪

计量学报2020，Vol.41Issue(11)：1321-1326,6.
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计量学报2020，Vol.41Issue(11)：1321-1326,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2020.11.02

用于双探针原子力显微镜的定位平台的设计及实验验证

Design and Experimental Verification of Positioning Platform for Double-probe Atomic Force Microscopy

林之东 1高思田 2黄鹭 2李琪2

作者信息

  • 1. 浙江理工大学机械与自动控制学院,浙江杭州310018
  • 2. 中国计量科学研究院,北京100029
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摘要

关键词

计量学/双探针/原子力显微镜/定位平台/分辨率/柔性铰链

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

林之东,高思田,黄鹭,李琪..用于双探针原子力显微镜的定位平台的设计及实验验证[J].计量学报,2020,41(11):1321-1326,6.

基金项目

国家重点研发计划(2016YFF0200602) （2016YFF0200602）

计量学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-1158

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