传感技术学报2020,Vol.33Issue(10):1419-1424,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2020.10.007
嵌套环式MEMS陀螺刚度轴偏角误差和电极未对准误差辨识
Identification of Stiffness Asymmetry and Electrode Misalignment of Multiring Disk Resonator Gyroscope
摘要
关键词
嵌套环式MEMS陀螺/结构误差辨识/刚度轴偏角误差/电极未对准误差分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
宋国雄,何汉辉,高凯,李青松,许一,路阔,吴学忠,肖定邦..嵌套环式MEMS陀螺刚度轴偏角误差和电极未对准误差辨识[J].传感技术学报,2020,33(10):1419-1424,6.基金项目
国家重点研发计划项目(2018YFB2002304) (2018YFB2002304)
国家自然科学基金项目(51575521) (51575521)