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嵌套环式MEMS陀螺刚度轴偏角误差和电极未对准误差辨识

宋国雄 何汉辉 高凯 李青松 许一 路阔 吴学忠 肖定邦

传感技术学报2020,Vol.33Issue(10):1419-1424,6.
传感技术学报2020,Vol.33Issue(10):1419-1424,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2020.10.007

嵌套环式MEMS陀螺刚度轴偏角误差和电极未对准误差辨识

Identification of Stiffness Asymmetry and Electrode Misalignment of Multiring Disk Resonator Gyroscope

宋国雄 1何汉辉 1高凯 1李青松 1许一 1路阔 1吴学忠 1肖定邦1

作者信息

  • 1. 国防科技大学智能科学学院,湖南 长沙410073
  • 折叠

摘要

关键词

嵌套环式MEMS陀螺/结构误差辨识/刚度轴偏角误差/电极未对准误差

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

宋国雄,何汉辉,高凯,李青松,许一,路阔,吴学忠,肖定邦..嵌套环式MEMS陀螺刚度轴偏角误差和电极未对准误差辨识[J].传感技术学报,2020,33(10):1419-1424,6.

基金项目

国家重点研发计划项目(2018YFB2002304) (2018YFB2002304)

国家自然科学基金项目(51575521) (51575521)

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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