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探针校准用ECR等离子体源特性试验研究

邓星亮 郎昊 刘展 张书锋 贾军伟 柴昊 王斌 高婷 李鹏 崔爽 李峥

航天器环境工程2020,Vol.37Issue(6):602-609,8.
航天器环境工程2020,Vol.37Issue(6):602-609,8.DOI:10.12126/see.2020.06.011

探针校准用ECR等离子体源特性试验研究

Experimental study of characteristics of ECR plasma source for probe calibration

邓星亮 1郎昊 1刘展 1张书锋 1贾军伟 1柴昊 1王斌 2高婷 2李鹏 2崔爽 2李峥1

作者信息

  • 1. 北京东方计量测试研究所,北京 100086
  • 2. 北京空间机电研究所,北京 100076
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摘要

关键词

等离子体源/特征参数/重复性/均匀性/稳定性/试验研究

分类

能源科技

引用本文复制引用

邓星亮,郎昊,刘展,张书锋,贾军伟,柴昊,王斌,高婷,李鹏,崔爽,李峥..探针校准用ECR等离子体源特性试验研究[J].航天器环境工程,2020,37(6):602-609,8.

航天器环境工程

OA北大核心CSTPCD

1673-1379

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