人工晶体学报2020，Vol.49Issue(11)：2038-2045,8.
氮化镓单晶衬底制备技术发展与展望
Development and Trends of GaN Single Crystal Substrate Fabrication Technology
摘要
关键词
氮化镓/单晶衬底/同质外延/氨热法/钠流法分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
姜元希,刘南柳,张法碧,王琦,张国义..氮化镓单晶衬底制备技术发展与展望[J].人工晶体学报,2020,49(11):2038-2045,8.基金项目
国家自然科学基金面上项目(61974005) （61974005）
广东省重点领域研发计划(2020B010169001,2020B090922001) （2020B010169001,2020B090922001）
广东省区域联合基金重点项目(2019B1515120091) （2019B1515120091）
