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MPCVD单晶金刚石生长及其电子器件研究进展

王艳丰 王宏兴

人工晶体学报2020,Vol.49Issue(11):2139-2152,14.
人工晶体学报2020,Vol.49Issue(11):2139-2152,14.

MPCVD单晶金刚石生长及其电子器件研究进展

Research Progress of MPCVD Single Crystal Diamond Growth and Diamond Electronic Devices

王艳丰 1王宏兴2

作者信息

  • 1. 西安交通大学,电子物理与器件教育部重点实验室,西安 710049
  • 2. 西安交通大学电子与信息学部,宽禁带半导体与量子器件研究所,西安 710049
  • 折叠

摘要

关键词

金刚石/MPCVD/横向外延/拼接生长/掺杂/二极管/场效应晶体管/探测器

分类

数理科学

引用本文复制引用

王艳丰,王宏兴..MPCVD单晶金刚石生长及其电子器件研究进展[J].人工晶体学报,2020,49(11):2139-2152,14.

基金项目

国家自然科学基金(61804122,61605155,61627812,61705176,11474048) (61804122,61605155,61627812,61705176,11474048)

博士后科学基金(2019M653637,2019M660256) (2019M653637,2019M660256)

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人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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