人工晶体学报2020,Vol.49Issue(11):2139-2152,14.
MPCVD单晶金刚石生长及其电子器件研究进展
Research Progress of MPCVD Single Crystal Diamond Growth and Diamond Electronic Devices
摘要
关键词
金刚石/MPCVD/横向外延/拼接生长/掺杂/二极管/场效应晶体管/探测器分类
数理科学引用本文复制引用
王艳丰,王宏兴..MPCVD单晶金刚石生长及其电子器件研究进展[J].人工晶体学报,2020,49(11):2139-2152,14.基金项目
国家自然科学基金(61804122,61605155,61627812,61705176,11474048) (61804122,61605155,61627812,61705176,11474048)
博士后科学基金(2019M653637,2019M660256) (2019M653637,2019M660256)
东莞市创新创业领军人才引进计划 ()