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金属铌表面Ar/O2等离子体在线清洗的实验研究

李敏杨黎陈建军陈波王宏彬吴安东叶宗标芶富均韦建军

四川大学学报（自然科学版）2020，Vol.57Issue(6)：1147-1151,5.

四川大学学报（自然科学版）2020，Vol.57Issue(6)：1147-1151,5.DOI:10.3969/j.issn.0490-6756.2020.06.020

Experimental study on on-line cleaning of Ar/O2 plasmaon metal niobium surface

李敏 ¹杨黎 ²陈建军 ²陈波 ²王宏彬 ²吴安东 ³叶宗标 ²芶富均 ²韦建军¹

作者信息

等离子体清洗/在线监测/功函数/残余气体

数理科学

李敏,杨黎,陈建军,陈波,王宏彬,吴安东,叶宗标,芶富均,韦建军..金属铌表面Ar/O2等离子体在线清洗的实验研究[J].四川大学学报（自然科学版）,2020,57(6):1147-1151,5.

面向ITER壁在线原位清洗和处理的新技术研究(2017YFE0301305) （2017YFE0301305）

国家重点研发计划政府间国际科技创新合作与专项磁约束核聚变能发展研究（）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：0490-6756

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