材料科学与工程学报2020,Vol.38Issue(6):880-885,6.DOI:10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2020.06.003
反应离子刻蚀法(RIE)制备的高效黑硅太阳能电池
Preparation of High Efficiency Black Silicon Solar Cells by Reactive Ion Etching
摘要
关键词
黑硅/太阳电池/反射率/金刚线切多晶硅片分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘文峰,赵增超,周子游,黄海龙,蔡先武..反应离子刻蚀法(RIE)制备的高效黑硅太阳能电池[J].材料科学与工程学报,2020,38(6):880-885,6.基金项目
湖南省创新创业技术投资资助项目(2017GK5002) (2017GK5002)