激光技术2021,Vol.45Issue(1):109-114,6.DOI:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2021.01.019
朗缪尔探针诊断脉冲激光锡等离子体特性
Research on the characteristics of laser produced tin plasma by using Langmuir probe
摘要
关键词
激光物理/等离子体诊断/朗缪尔探针/极紫外光刻分类
数理科学引用本文复制引用
孙秦,田雷超,武耀星,尹培琪,王均武,王新兵,左都罗..朗缪尔探针诊断脉冲激光锡等离子体特性[J].激光技术,2021,45(1):109-114,6.基金项目
上海市科学技术委员会基金资助项目(17DZ2280800) (17DZ2280800)