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朗缪尔探针诊断脉冲激光锡等离子体特性

孙秦 田雷超 武耀星 尹培琪 王均武 王新兵 左都罗

激光技术2021,Vol.45Issue(1):109-114,6.
激光技术2021,Vol.45Issue(1):109-114,6.DOI:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2021.01.019

朗缪尔探针诊断脉冲激光锡等离子体特性

Research on the characteristics of laser produced tin plasma by using Langmuir probe

孙秦 1田雷超 2武耀星 1尹培琪 1王均武 1王新兵 1左都罗1

作者信息

  • 1. 华中科技大学 武汉光电国家研究中心,武汉430074
  • 2. 上海空间推进研究所 上海空间发动机工程技术研究中心,上海201112
  • 折叠

摘要

关键词

激光物理/等离子体诊断/朗缪尔探针/极紫外光刻

分类

数理科学

引用本文复制引用

孙秦,田雷超,武耀星,尹培琪,王均武,王新兵,左都罗..朗缪尔探针诊断脉冲激光锡等离子体特性[J].激光技术,2021,45(1):109-114,6.

基金项目

上海市科学技术委员会基金资助项目(17DZ2280800) (17DZ2280800)

激光技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3806

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