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一种芯片制造中的玻璃钝化工艺

崔文荣

科技创新与应用Issue(2)：128-131,4.
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科技创新与应用Issue(2)：128-131,4.

一种芯片制造中的玻璃钝化工艺

崔文荣1

作者信息

  • 1. 江苏晟驰微电子有限公司,江苏 海安 226600
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摘要

关键词

玻璃钝化/TVS/烧结/成品率

分类

化学化工

引用本文复制引用

崔文荣..一种芯片制造中的玻璃钝化工艺[J].科技创新与应用,2021,(2):128-131,4.

科技创新与应用

2095-2945

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