传感技术学报2020，Vol.33Issue(11)：1529-1535,7.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2020.11.001
谐振微镜扫描角度同步测量机理研究
Study on Scanning Angle Synchronous Measurement Mechanism for Resonant Micromirror
摘要
关键词
微镜/激光雷达/光电二极管/角度测量分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
黎良田..谐振微镜扫描角度同步测量机理研究[J].传感技术学报,2020,33(11):1529-1535,7.基金项目
广东省科技创新战略专项资金项目(Pdjh2020a1176) （Pdjh2020a1176）
深圳职业技术学院自然科学资金项目(6020310010K) （6020310010K）
