电子器件2020，Vol.43Issue(6)：1191-1196,6.
基于电荷注入机制的驱动电压可重构的MEMS开关
A Novel MEMS Switch with Reconfigurable Driving Voltage Based on the Charge Injection Mechanism
摘要
关键词
MEMS开关/电荷注入/驱动电压/可重构分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
郑从兵,张鹏飞,王立峰,韩磊,张志强,黄晓东..基于电荷注入机制的驱动电压可重构的MEMS开关[J].电子器件,2020,43(6):1191-1196,6.基金项目
国家自然科学基金项目(61604039,61604040) （61604039,61604040）
至善青年学者支持计划项目(2242019R40030) （2242019R40030）
