人工晶体学报2020，Vol.49Issue(12)：2358-2364,7.
自支撑氮化硅膜结构制备工艺优化
Process Optimization for Fabrication of Self-Supporting Silicon Nitride Film Structure
摘要
关键词
氮化硅/干法刻蚀/各向异性湿法腐蚀/单晶硅/自支撑膜结构分类
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王付雄,谢婉谊..自支撑氮化硅膜结构制备工艺优化[J].人工晶体学报,2020,49(12):2358-2364,7.基金项目
重庆市基础研究与前沿探索项目(cstc2018jcyjAX0308) （cstc2018jcyjAX0308）
