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高硼硅玻璃薄膜的磁控溅射沉积及性能研究

石博元 张芩宇 姜宏 文峰 马艳平

人工晶体学报2020，Vol.49Issue(12)：2371-2375,2382,6.
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人工晶体学报2020，Vol.49Issue(12)：2371-2375,2382,6.

高硼硅玻璃薄膜的磁控溅射沉积及性能研究

Magnetron Sputtering Deposition and Properties of High Borosilicate Glass Films

石博元 1张芩宇 2姜宏 1文峰 2马艳平1

作者信息

  • 1. 海南大学,海南省特种玻璃重点实验室,海口 570228
  • 2. 南海海洋资源利用国家重点实验室,海口 570228
  • 折叠

摘要

关键词

高硼硅玻璃/磁控溅射/薄膜/透过率/力学性能

分类

数理科学

引用本文复制引用

石博元,张芩宇,姜宏,文峰,马艳平..高硼硅玻璃薄膜的磁控溅射沉积及性能研究[J].人工晶体学报,2020,49(12):2371-2375,2382,6.

基金项目

海南省重点研发计划(ZDYF2020015) （ZDYF2020015）

国家自然科学基金(51761010) （51761010）

海南大学科研平台建设(ZY2019HN09) （ZY2019HN09）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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