大连理工大学学报Issue(S2)：P.100-100,1.
湿法刻蚀对全息微光学元件表面性质的影响
摘要
关键词
微光学元件/表面性质/湿法刻蚀/作用位点/“九五”国家科技攻关/显影液/微细加工/信息光学/国家重点实验室/自适应光学分类
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曾红军,郭履容,陈波,庞霖..湿法刻蚀对全息微光学元件表面性质的影响[J].大连理工大学学报,1997,(S2):P.100-100,1.基金项目
"九五"国家科技攻关项目 （）
中国科学院成都光电所微细加工国家重点实验室开放课题基金 （）
