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纳米级二维激光外差干涉仪的设计

陈晓梅 曹航 周自力 亓爱会

大连理工大学学报Issue(S2)：P.117-117,1.
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大连理工大学学报Issue(S2)：P.117-117,1.

纳米级二维激光外差干涉仪的设计

陈晓梅 1曹航 2周自力 2亓爱会2

作者信息

  • 1. 长城计量测试技术研究所
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摘要

关键词

激光外差/干涉仪/纳米级/微动工作台/扫描隧道显微镜/计算机控制/原子力显微镜/激光外差干涉/计量测试/处理系统

分类

机械制造

引用本文复制引用

陈晓梅,曹航,周自力,亓爱会..纳米级二维激光外差干涉仪的设计[J].大连理工大学学报,1997,(S2):P.117-117,1.

大连理工大学学报

OA北大核心CSCD

1000-8608

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