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大规模集成电路离子刻蚀过程监测中的锁相技术

宋克非 米宝永

数据采集与处理Issue(S1)：P.75-79,5.
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数据采集与处理Issue(S1)：P.75-79,5.

大规模集成电路离子刻蚀过程监测中的锁相技术

宋克非 1米宝永1

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光机所,长春130022
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摘要

关键词

离子刻蚀/过程监测/锁相技术/放大技术/终点监测/干涉法/光刻胶/线宽/钻蚀/电子学系统

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

宋克非,米宝永..大规模集成电路离子刻蚀过程监测中的锁相技术[J].数据采集与处理,1992,(S1):P.75-79,5.

数据采集与处理

1004-9037

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