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类金刚石薄膜折射率的测量

王昕 张江泉 陈宝珠 马玉蓉

数据采集与处理Issue(S1)：P.212-214,3.
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数据采集与处理Issue(S1)：P.212-214,3.

类金刚石薄膜折射率的测量

王昕 1张江泉 1陈宝珠 1马玉蓉1

作者信息

  • 1. 中国科学技术大学,合肥230026
  • 折叠

摘要

关键词

类金刚石薄膜/薄膜样品/衬底温度/椭圆偏振/起偏器/其他条件不变/增透/测量仪器/检偏器/波长范围

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王昕,张江泉,陈宝珠,马玉蓉..类金刚石薄膜折射率的测量[J].数据采集与处理,1992,(S1):P.212-214,3.

基金项目

国家863高技术资助项目 （）

数据采集与处理

1004-9037

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