|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|湖北民族学院学报：自然科学版|磁控溅射镀膜的等离子体物理机制的探讨

磁控溅射镀膜的等离子体物理机制的探讨

李兴鳌

湖北民族学院学报：自然科学版Issue(1)：P.47-53,7.
✕
湖北民族学院学报：自然科学版Issue(1)：P.47-53,7.

磁控溅射镀膜的等离子体物理机制的探讨

李兴鳌1

作者信息

  • 折叠

摘要

关键词

磁控溅射镀膜/等离子体物理/磁约束/磁流体力学/新兴技术/带电粒子/电场能量/电流分布/磁场方向/磁控管

分类

自科综合

引用本文复制引用

李兴鳌..磁控溅射镀膜的等离子体物理机制的探讨[J].湖北民族学院学报：自然科学版,1991,(1):P.47-53,7.

湖北民族学院学报：自然科学版

1008-8423

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文