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光学薄膜参数、测试及设备

中国光学Issue(4):P.64-64,1.
中国光学Issue(4):P.64-64,1.

光学薄膜参数、测试及设备

摘要

关键词

光学性质/光学带隙/制备参数/吸收系数/射频偏压/衬底温度/电子能带结构/物理参数/退火/应用物理

分类

数理科学

引用本文复制引用

..光学薄膜参数、测试及设备[J].中国光学,1997,(4):P.64-64,1.

中国光学

2095-1531

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