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超微细加工及设备

中国光学Issue(2)：P.93-94,2.
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中国光学Issue(2)：P.93-94,2.

超微细加工及设备

摘要

关键词

场发射阵列/硅微尖阵列/工艺参数/中科院/刻划机/长春/各向同性/分步重复投影光刻机/化学方法/光学系统

分类

数理科学

引用本文复制引用

..超微细加工及设备[J].中国光学,1997,(2):P.93-94,2.

中国光学

2095-1531

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