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DSW光刻机中的最短时间自动对准系统

王文平 刘永强 罗培成 王彦池

河北工业科技Issue(1)：P.29-33,5.
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河北工业科技Issue(1)：P.29-33,5.

DSW光刻机中的最短时间自动对准系统

王文平 1刘永强 1罗培成 2王彦池2

作者信息

  • 1. 河北机电学院自动化系
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摘要

关键词

自动对准系统/最短时间控制/动态规划

分类

管理科学

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王文平,刘永强,罗培成,王彦池..DSW光刻机中的最短时间自动对准系统[J].河北工业科技,1989,(1):P.29-33,5.

河北工业科技

1008-1534

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