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硅微加速度计及其集成测量系统研究

张文栋 周兆英 叶雄英 才海男 崔天宏 王晓浩 熊继军

测试技术学报Issue(2)：P.14-21,8.
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测试技术学报Issue(2)：P.14-21,8.

硅微加速度计及其集成测量系统研究

张文栋 1周兆英 1叶雄英 1才海男 1崔天宏 1王晓浩 1熊继军1

作者信息

  • 1. 清华大学精仪系
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摘要

关键词

MEMS/加速度计/集成系统/测量

分类

机械制造

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张文栋,周兆英,叶雄英,才海男,崔天宏,王晓浩,熊继军..硅微加速度计及其集成测量系统研究[J].测试技术学报,1996,(2):P.14-21,8.

测试技术学报

1671-7449

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