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一种测量薄膜材料厚度的装置的设计

潘振鹏

工业工程Issue(4)：P.105-107,3.
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工业工程Issue(4)：P.105-107,3.

一种测量薄膜材料厚度的装置的设计

潘振鹏1

作者信息

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摘要

关键词

薄膜测量与分析/透射电子显微镜/薄膜厚度测定/污染点法/污染线法

分类

机械制造

引用本文复制引用

潘振鹏..一种测量薄膜材料厚度的装置的设计[J].工业工程,1994,(4):P.105-107,3.

工业工程

1007-7375

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