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GaAs超薄层腐蚀与非线性光学器件制作

朴友植 孙智江 杜淑琴 张月清

液晶与显示Issue(5):P.4-6,3.
液晶与显示Issue(5):P.4-6,3.

GaAs超薄层腐蚀与非线性光学器件制作

朴友植 1孙智江 1杜淑琴 1张月清1

作者信息

  • 1. 中国科学院长春物理研究所
  • 折叠

摘要

关键词

非线性光学器件/光学非线性/超薄层/液相外延生长/腐蚀过程/腐蚀速度/腐蚀液/表面形貌/腐蚀机理/半导体激光器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

朴友植,孙智江,杜淑琴,张月清..GaAs超薄层腐蚀与非线性光学器件制作[J].液晶与显示,1991,(5):P.4-6,3.

液晶与显示

1007-2780

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