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用连续沉积MOCVD技术制备5英寸的ZnS:MnTFEL屏

邸建华

液晶与显示Issue(5)：P.33-35,3.
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液晶与显示Issue(5)：P.33-35,3.

用连续沉积MOCVD技术制备5英寸的ZnS:MnTFEL屏

邸建华1

作者信息

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摘要

关键词

MOCVD ZnS:MnTFEL 平板显示器 薄膜电致发光 汽相 连续沉积 衬底温度 绝缘膜 沉积技术 绝缘薄膜

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

邸建华..用连续沉积MOCVD技术制备5英寸的ZnS:MnTFEL屏[J].液晶与显示,1991,(5):P.33-35,3.

液晶与显示

1007-2780

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