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用AES测量样品表面吸附层的厚度及剥离速率

薛增泉 赵兴钰 吴全德

北京大学学报：自然科学版Issue(1)：P.109-117,9.
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北京大学学报：自然科学版Issue(1)：P.109-117,9.DOI:10.13209/j.0479-8023.1988.012

用AES测量样品表面吸附层的厚度及剥离速率

薛增泉 1赵兴钰 1吴全德1

作者信息

  • 1. 北京大学无线电电子学系
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摘要

关键词

吸附层/表面吸附/AES/俄歇电子谱/Sn/离子束/粒子束/厚度

分类

化学化工

引用本文复制引用

薛增泉,赵兴钰,吴全德..用AES测量样品表面吸附层的厚度及剥离速率[J].北京大学学报：自然科学版,1988,(1):P.109-117,9.

北京大学学报：自然科学版

OACSCD

0479-8023

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