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硫离子注入制备N.GaAs薄层

北京师范大学学报：自然科学版Issue(2)：P.27-32,6.
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北京师范大学学报：自然科学版Issue(2)：P.27-32,6.

硫离子注入制备N.GaAs薄层

摘要

关键词

夹断电压/N.GaAs/场效应管/肖特基势垒/气相外延/载流子浓度/半绝缘/外延层/跨导/退火温度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

..硫离子注入制备N.GaAs薄层[J].北京师范大学学报：自然科学版,1975,(2):P.27-32,6.

北京师范大学学报：自然科学版

0476-0301

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