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微压传感器膜片的设计与研制中的关键技术

沈桂芬 杨学昌 张久惠

辽宁大学学报：自然科学版Issue(4)：P.40-44,5.
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辽宁大学学报：自然科学版Issue(4)：P.40-44,5.

微压传感器膜片的设计与研制中的关键技术

沈桂芬 1杨学昌 1张久惠1

作者信息

  • 1. 辽宁大学物理系
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摘要

分类

信息技术与安全科学

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沈桂芬,杨学昌,张久惠..微压传感器膜片的设计与研制中的关键技术[J].辽宁大学学报：自然科学版,1988,(4):P.40-44,5.

辽宁大学学报：自然科学版

1000-5846

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