安全、健康和环境2021，Vol.21Issue(1)：23-28,6.DOI:10.3969/j.issn.1672-7932.2021.01.005
基于二维材料的真空气压传感器设计与测试
Design and Test of Vacuum Pressure Sensor based on Two Dimensional Material
王浩志1
作者信息
- 1. 中国石化青岛安全工程研究院,山东青岛 266104
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摘要
关键词
真空传感/二维材料/二硫化钼/皮拉尼气压传感器/微机电系统引用本文复制引用
王浩志..基于二维材料的真空气压传感器设计与测试[J].安全、健康和环境,2021,21(1):23-28,6.
