控制理论与应用2021，Vol.38Issue(1)：44-52,9.DOI:10.7641/CTA.2020.00040
直拉硅单晶非均匀相变温度场最优控制
Optimal control for heterogeneous phase transition temperature field of Czochralski monocrystalline silicon
摘要
关键词
直拉硅单晶/相变温度场/生长直径/抛物型PDE/分布参数系统引用本文复制引用
张晶,刘丁,杜燕军..直拉硅单晶非均匀相变温度场最优控制[J].控制理论与应用,2021,38(1):44-52,9.基金项目
国家自然科学基金项目(61533014),陕西省自然科学基金(2019JQ-734)资助. （61533014）
