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2种ITO靶材及溅射薄膜性能比较研究

左宁伟 杨龙 刘秉宁

宁夏大学学报（自然科学版）2020，Vol.41Issue(4)：347-350,4.
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宁夏大学学报（自然科学版）2020，Vol.41Issue(4)：347-350,4.

2种ITO靶材及溅射薄膜性能比较研究

Performance Comparison of Two ITO Targets and Sputtered Films

左宁伟 1杨龙 1刘秉宁1

作者信息

  • 1. 西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司稀有金属材料研究院国家重点实验室,宁夏石嘴山 753000
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摘要

关键词

ITO靶材/薄膜/性能

引用本文复制引用

左宁伟,杨龙,刘秉宁..2种ITO靶材及溅射薄膜性能比较研究[J].宁夏大学学报（自然科学版）,2020,41(4):347-350,4.

基金项目

宁夏自然科学基金资助项目(NZ16248) （NZ16248）

宁夏大学学报（自然科学版）

OACHSSCDCSTPCD

0253-2328

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