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多周期SiGe/Si异质纳米结构薄膜的制备研究

周笔

科技创新与应用Issue(7)：80-82,3.

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科技创新与应用Issue(7)：80-82,3.

多周期SiGe/Si异质纳米结构薄膜的制备研究

周笔¹

作者信息

1. 闽江学院物理与电子信息工程学院,福建福州 350108
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摘要

关键词

多量子阱/纳米结构/硅锗

分类

信息技术与安全科学

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周笔..多周期SiGe/Si异质纳米结构薄膜的制备研究[J].科技创新与应用,2021,(7):80-82,3.

基金项目

福建省科技厅自然科学基金项目(编号:2018J01420) （编号:2018J01420）

科技创新与应用

ISSN：2095-2945

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