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化学气相沉积法制备大面积二维材料薄膜:方法与机制

王铄王文辉吕俊鹏倪振华

物理学报2021，Vol.70Issue(2)：121-134,14.

物理学报2021，Vol.70Issue(2)：121-134,14.DOI:10.7498/aps.70.20201398

Chemical vapor deposition growth of large-areas two dimen-sional materials: Approaches and mechanisms

王铄 ¹王文辉 ¹吕俊鹏 ¹倪振华¹

作者信息

化学气相沉积/二维材料/生长动力学

王铄,王文辉,吕俊鹏,倪振华..化学气相沉积法制备大面积二维材料薄膜:方法与机制[J].物理学报,2021,70(2):121-134,14.

国家重点基础研究发展计划(批准号:2017YFA0205700,2019YFA0308000)和国家自然科学基金(批准号:61774034,91963130)资助的课题. （批准号:2017YFA0205700,2019YFA0308000）

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1000-3290

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