原子能科学技术2021，Vol.55Issue(2)：348-352,5.DOI:10.7538/yzk.2020.youxian.0246
RBS法测量重元素衬底上轻元素薄靶厚度的方法研究
Thickness Measurement of Light Element Thin Target on Heavy Element Substrate with RBS Method
摘要
关键词
卢瑟福背散射/薄靶/厚度/金硅面垒探测器分类
能源科技引用本文复制引用
吴笛,付光永,杨婉莎,魏继红,仇猛淋,王乃彦,郭冰,贺创业,王广甫,樊启文,党永乐,刘伏龙..RBS法测量重元素衬底上轻元素薄靶厚度的方法研究[J].原子能科学技术,2021,55(2):348-352,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(11975316 ,11490560) （11975316 ,11490560）
国家重点研发计划资助项目(2016YFA0400502) （2016YFA0400502）
国家财政部稳定支持研究经费资助项目(WDJC-2019-02) （WDJC-2019-02）
