质谱学报2021，Vol.42Issue(1)：65-72,8.DOI:10.7538/zpxb.2019.0154
基于微机电系统加工技术的微小型矩形离子阱的研制
Development of Micro-sized Rectangular Ion Trap Based on Micro-Electro-Mechanical System Processing Technology
摘要
关键词
矩形离子阱/微机电系统(MEMS)/理论仿真/质谱/质量分辨分类
化学化工引用本文复制引用
陈婷,姚锦元,蒋公羽,肖育,陈新,杨雨,郑恒..基于微机电系统加工技术的微小型矩形离子阱的研制[J].质谱学报,2021,42(1):65-72,8.基金项目
上海市非硅微纳集成制造专业技术服务平台(17DZ2291400) （17DZ2291400）
环境友好型纳米锌镀层技术标准项目(17DZ2203100)资助 （17DZ2203100）
