机械制造与自动化2021，Vol.50Issue(1)：17-20,4.DOI:10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2021.01.005
硅纳米锥阵列结构参数对抗反射性能研究
Antireflection Performance of Silicon Nano Cone Array Structure Parameters
摘要
关键词
纳米锥形阵列/抗反射/时域有限差分法/平均透射率/参数优化分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
严鑫,黎相孟,赵泽鹏,刘晨华..硅纳米锥阵列结构参数对抗反射性能研究[J].机械制造与自动化,2021,50(1):17-20,4.基金项目
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(51705479) （51705479）
山西省应用基础研究项目青年科技研究基金资助项目(201701D221128) （201701D221128）
