机械制造与自动化2021，Vol.50Issue(1)：96-98,106,4.DOI:10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2021.01.025
基于Comsol的矩形磁控溅射靶磁场模拟与分析
Simulation and Analysis of Magnetic Field of Rectangular Magnetron Sputtering Target by Comsol
摘要
关键词
磁控溅射/Comsol/结构参数/磁场分布分类
通用工业技术引用本文复制引用
王雪,程磊,徐锋,贾昆鹏,左敦稳..基于Comsol的矩形磁控溅射靶磁场模拟与分析[J].机械制造与自动化,2021,50(1):96-98,106,4.基金项目
国家自然科学基金项目(51575269) （51575269）
江苏省六大人才高峰资助计划项目(ZBZZ-005) （ZBZZ-005）
